一种高精度光栅尺母板光刻装置 | |
赵惠英; 任东旭; 陈伟; 席建普; 李彬; 张楚鹏; 范智源 | |
2014-04-23 | |
DOI标识 | [db:dc_identifier_doi] |
URL标识 | 查看原文 |
申请日期 | 2013-12-23 |
WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
内容类型 | 专利 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3308911 |
专题 | 西安交通大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵惠英,任东旭,陈伟,等. 一种高精度光栅尺母板光刻装置. 2014-04-23. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论