基于柔性纳米压印工艺制备中红外双层金属纳米光栅 | |
褚金奎; 康维东; 曾祥伟; 张然 | |
刊名 | 光学精密工程
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2017 | |
卷号 | 25页码:3034-3040 |
关键词 | 纳米光栅 中红外光栅 金属光栅 柔性纳米压印 IPS(Intermediate PloymerSheet) 热蒸镀 |
ISSN号 | 1004-924X |
URL标识 | 查看原文 |
WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3307301 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 大连理工大学机械工程学院辽宁省微系统研究中心重点实验室,辽宁大连,116024 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 褚金奎,康维东,曾祥伟,等. 基于柔性纳米压印工艺制备中红外双层金属纳米光栅[J]. 光学精密工程,2017,25:3034-3040. |
APA | 褚金奎,康维东,曾祥伟,&张然.(2017).基于柔性纳米压印工艺制备中红外双层金属纳米光栅.光学精密工程,25,3034-3040. |
MLA | 褚金奎,et al."基于柔性纳米压印工艺制备中红外双层金属纳米光栅".光学精密工程 25(2017):3034-3040. |
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