| 钇掺杂量和膜厚对HfO2纳米薄膜相结构的影响 | |
| 杨喜锐; 王雪霞; 周大雨; 徐进; 闫泳; 梁海龙 | |
| 刊名 | 功能材料
 |
| 2017 | |
| 卷号 | 48页码:10154-10158 |
| 关键词 | HfO2薄膜 相变 钇含量 膜厚 溶胶-凝胶 |
| ISSN号 | 1001-9731 |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3307073 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学材料科学与工程学院,三束材料改性教育部重点实验室,辽宁大连116024 2.大连东软信息学院电子工程系,辽宁大连,116023 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨喜锐,王雪霞,周大雨,等. 钇掺杂量和膜厚对HfO2纳米薄膜相结构的影响[J]. 功能材料,2017,48:10154-10158. |
| APA | 杨喜锐,王雪霞,周大雨,徐进,闫泳,&梁海龙.(2017).钇掺杂量和膜厚对HfO2纳米薄膜相结构的影响.功能材料,48,10154-10158. |
| MLA | 杨喜锐,et al."钇掺杂量和膜厚对HfO2纳米薄膜相结构的影响".功能材料 48(2017):10154-10158. |
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