| 题名 | 基于非晶InGaZnO的薄膜晶体管器件制备及性能研究 |
| 作者 | 江凯 |
| 答辩日期 | 2014 |
| 导师 | 李远洁 |
| 关键词 | 铟镓锌氧化物薄膜晶体管射频磁控溅射法氧氩气流比真空退火 |
| 学位名称 | 工学硕士 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| DOI标识 | [db:dc_identifier_doi] |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3303852 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 江凯. 基于非晶InGaZnO的薄膜晶体管器件制备及性能研究[D]. 2014. |
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