| 题名 | 钇掺杂二氧化铪纳米薄膜电容器的制备工艺及性能研究 |
| 作者 | 周方杨 |
| 答辩日期 | 2017 |
| 授予单位 | 大连理工大学 |
| 导师 | 周大雨 |
| 关键词 | 磁控溅射 二氧化铪纳米薄膜 晶体结构 电学性能 薄膜电容器 薄膜电极 制备工艺 |
| 学位名称 | 硕士 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| URL标识 | 查看原文 |
| 出处 | 大连理工大学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3302355 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周方杨. 钇掺杂二氧化铪纳米薄膜电容器的制备工艺及性能研究[D]. 大连理工大学. 2017. |
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