CORC  > 大连理工大学
题名Cu-Ge及Cu-Ge-M系功能薄膜的制备与表征
作者刘苗
答辩日期2017
授予单位大连理工大学
导师李晓娜
关键词Cu-Ge功能薄膜 Cu-Ge-M功能薄膜 稳定性 制备方法 磁控溅射法
学位名称硕士
WOS记录号[db:dc_identifier_wosid]
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出处大连理工大学
内容类型学位论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3300018
专题大连理工大学
作者单位大连理工大学
推荐引用方式
GB/T 7714
刘苗. Cu-Ge及Cu-Ge-M系功能薄膜的制备与表征[D]. 大连理工大学. 2017.
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