CORC  > 大连理工大学
射频负氢离子源放电特性的Langmuir探针诊断研究
李宏; 张钰如; 高飞; 王友年
2017
会议名称第十八届全国等离子体科学技术会议
会议日期2017-07-01
会议地点中国陕西西安
关键词感应耦合等离子体 朗缪尔探针 电子动力学
页码1
会议录第十八届全国等离子体科学技术会议
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WOS记录号[db:dc_identifier_wosid]
内容类型会议论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3290671
专题大连理工大学
作者单位大连理工大学
推荐引用方式
GB/T 7714
李宏,张钰如,高飞,等. 射频负氢离子源放电特性的Langmuir探针诊断研究[C]. 见:第十八届全国等离子体科学技术会议. 中国陕西西安. 2017-07-01.
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