| 一种PZT/Si扩散键合装置 | |
| 王大志; 石鹏; 慈元达; 周鹏; 凌四营; 任同群; 梁军生; 韦运龙 | |
| 2017 | |
| 权利人 | 大连理工大学 |
| 公开日期 | 2018-01-19 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 申请日期 | 2017-08-03 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| 内容类型 | 专利 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3287632 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王大志,石鹏,慈元达,等. 一种PZT/Si扩散键合装置. 2017-01-01. |
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