Fabrication of compact turning mirrors in silicon-on-insulator materials | |
Wang, WH ; Tang, YZ ; Li, T ; Wu, YM ; Yang, JY ; Wang, YL | |
刊名 | APPLIED OPTICS
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2005 | |
卷号 | 44期号:12页码:2409-2415 |
关键词 | RIB WAVE-GUIDES CORNER-MIRRORS DEMULTIPLEXER |
ISSN号 | 0003-6935 |
通讯作者 | Wang, WH, Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Microsyst & Informat Technol, State Key Lab Transducter Technol, Shanghai 200050, Peoples R China |
学科主题 | Optics |
收录类别 | SCI |
语种 | 英语 |
公开日期 | 2011-12-17 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/38697] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统技术_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang, WH,Tang, YZ,Li, T,et al. Fabrication of compact turning mirrors in silicon-on-insulator materials[J]. APPLIED OPTICS,2005,44(12):2409-2415. |
APA | Wang, WH,Tang, YZ,Li, T,Wu, YM,Yang, JY,&Wang, YL.(2005).Fabrication of compact turning mirrors in silicon-on-insulator materials.APPLIED OPTICS,44(12),2409-2415. |
MLA | Wang, WH,et al."Fabrication of compact turning mirrors in silicon-on-insulator materials".APPLIED OPTICS 44.12(2005):2409-2415. |
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