一种横向凝固叠加电场提高多晶硅提纯得率的设备和方法 | |
谭毅; 庄辛鹏; 任世强; 李鹏廷; 李佳艳 | |
2018 | |
公开日期 | 2018-09-04 |
URL标识 | 查看原文 |
申请日期 | 2018-09-04 |
WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
内容类型 | 专利 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3270121 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 1.大连理工大学 2.其他单位 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭毅,庄辛鹏,任世强,等. 一种横向凝固叠加电场提高多晶硅提纯得率的设备和方法. 2018-01-01. |
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