Photoelastic SU-8 Micro-Force Sensor | |
Zhang, R.; Li, S. L.; Chu, J. K. | |
2018 | |
会议名称 | MICRO-NANO TECHNOLOGY XVII-XVIII |
会议日期 | 2018-01-01 |
关键词 | SU-8 Photoelastic Micro-force sensor Micro fabrication |
页码 | 66-71 |
会议录 | MICRO-NANO TECHNOLOGY XVII-XVIII
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URL标识 | 查看原文 |
WOS记录号 | [DB:DC_IDENTIFIER_WOSID] |
内容类型 | 会议论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3268529 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | Dalian Univ Technol, Sch Mech Engn, Dalian 116023, Liaoning, Peoples R China. |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhang, R.,Li, S. L.,Chu, J. K.. Photoelastic SU-8 Micro-Force Sensor[C]. 见:MICRO-NANO TECHNOLOGY XVII-XVIII. 2018-01-01. |
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