| 题名 | CF_4/Ar感性耦合等离子体增强准原子层刻蚀SiO_2多尺度研究 |
| 作者 | 杨雪 |
| 答辩日期 | 2018 |
| 授予单位 | 大连理工大学 |
| 导师 | 戴忠玲 |
| 关键词 | 原子层刻蚀 离子能量角度分布 刻蚀槽形貌演化 深宽比依赖效应 |
| 学位名称 | 硕士 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| URL标识 | 查看原文 |
| 出处 | 大连理工大学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3266472 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨雪. CF_4/Ar感性耦合等离子体增强准原子层刻蚀SiO_2多尺度研究[D]. 大连理工大学. 2018. |
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