| 题名 | 传感器和换能器用 PZT铁电薄膜的制备和性能研究 |
| 作者 | 王广旭 |
| 答辩日期 | 2015 |
| 导师 | 任巍 |
| 关键词 | Pb(Zr0.52Ti0.48)O3厚膜 溶胶-凝胶法 Pt/Ti/Si3N4/SiO2/Si(100) 掺杂 Pb(Zr0.3Ti0.7)O3薄膜 |
| 学位名称 | 工学硕士 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| DOI标识 | [db:dc_identifier_doi] |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3263440 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王广旭. 传感器和换能器用 PZT铁电薄膜的制备和性能研究[D]. 2015. |
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