| 题名 | 非晶铟镓锌氧化物薄膜制备及薄膜晶体管特性研究 |
| 作者 | 李玲 |
| 答辩日期 | 2015 |
| 导师 | 刘纯亮 |
| 关键词 | IGZO* 薄膜晶体管 磁控溅射 电阻率 电子迁移率 |
| 学位名称 | 工学博士 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| DOI标识 | [db:dc_identifier_doi] |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3248857 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李玲. 非晶铟镓锌氧化物薄膜制备及薄膜晶体管特性研究[D]. 2015. |
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