| 化学机械抛光液的研究进展 | |
| 孟凡宁; 张振宇; 郜培丽; 孟祥东; 刘健 | |
| 刊名 | 表面技术
 |
| 2019 | |
| 卷号 | 48页码:1-10,23 |
| 关键词 | 化学机械抛光 抛光液 磨粒 氧化剂 绿色环保 |
| ISSN号 | 1001-3660 |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3228931 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁 大连 116024 2.中国科学院 大连化学物理研究所,辽宁 大连 116024 3.大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁 大连,116024 4.中国科学院 大连化学物理研究所,辽宁 大连,116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孟凡宁,张振宇,郜培丽,等. 化学机械抛光液的研究进展[J]. 表面技术,2019,48:1-10,23. |
| APA | 孟凡宁,张振宇,郜培丽,孟祥东,&刘健.(2019).化学机械抛光液的研究进展.表面技术,48,1-10,23. |
| MLA | 孟凡宁,et al."化学机械抛光液的研究进展".表面技术 48(2019):1-10,23. |
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