| 各向异性湿法刻蚀中刻蚀温度对硅尖形貌的影响 | |
| 张小辉; 胡亚明; 梁军生; 宿世界; 王大志 | |
| 刊名 | 机电工程技术
 |
| 2019 | |
| 页码 | 35-37 |
| 关键词 | 单晶硅 针尖 各向异性刻蚀 |
| ISSN号 | 1009-9492 |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3227179 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室 2.大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张小辉,胡亚明,梁军生,等. 各向异性湿法刻蚀中刻蚀温度对硅尖形貌的影响[J]. 机电工程技术,2019:35-37. |
| APA | 张小辉,胡亚明,梁军生,宿世界,&王大志.(2019).各向异性湿法刻蚀中刻蚀温度对硅尖形貌的影响.机电工程技术,35-37. |
| MLA | 张小辉,et al."各向异性湿法刻蚀中刻蚀温度对硅尖形貌的影响".机电工程技术 (2019):35-37. |
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