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	Design of Applied Diffusion Pump System for Electron Beam Process
	Jin Yan[1]; Hu Jianjun[1,2]; Xu Hongbin[3]
会议日期	AUG 13-14, 2011
会议地点	Shanghai, PEOPLES R CHINA
URL标识	查看原文
内容类型	会议论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3205308
专题	重庆大学
推荐引用方式 GB/T 7714	Jin Yan[1],Hu Jianjun[1,2],Xu Hongbin[3]. Design of Applied Diffusion Pump System for Electron Beam Process[C]. 见:. Shanghai, PEOPLES R CHINA. AUG 13-14, 2011.

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