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硅微机械与光纤组合式列阵传感器的研制工艺 The Developing Technology for Hybrid Silicon Micromachine and Optic Fiber Array Sensor
温志渝[1,2]; 钟先信[1,2]; 黄友恕[1,2]; 徐涛[1,2]; 孙晓松[1,2]; 朱维安[1,2]
1995
卷号22页码:24-29
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3184649
专题重庆大学
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GB/T 7714
温志渝[1,2],钟先信[1,2],黄友恕[1,2],等. 硅微机械与光纤组合式列阵传感器的研制工艺 The Developing Technology for Hybrid Silicon Micromachine and Optic Fiber Array Sensor[J],1995,22:24-29.
APA 温志渝[1,2],钟先信[1,2],黄友恕[1,2],徐涛[1,2],孙晓松[1,2],&朱维安[1,2].(1995).硅微机械与光纤组合式列阵传感器的研制工艺 The Developing Technology for Hybrid Silicon Micromachine and Optic Fiber Array Sensor.,22,24-29.
MLA 温志渝[1,2],et al."硅微机械与光纤组合式列阵传感器的研制工艺 The Developing Technology for Hybrid Silicon Micromachine and Optic Fiber Array Sensor".22(1995):24-29.
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