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	一种基于硅晶元和压电薄膜的声表面波高温压力传感器芯片及其制备方法
	牟笑静[1]; 窦韶旭[1]; 齐梦珂[1]
URL标识	查看原文
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3079809
专题	重庆大学
推荐引用方式 GB/T 7714	牟笑静[1],窦韶旭[1],齐梦珂[1]. 一种基于硅晶元和压电薄膜的声表面波高温压力传感器芯片及其制备方法.

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