一种基于SOI和压电薄膜的声表面波高温压力传感器芯片及其制备方法 | |
牟笑静/窦韶旭/齐梦珂[1] | |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 专利 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3078996 |
专题 | 重庆大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 牟笑静/窦韶旭/齐梦珂[1]. 一种基于SOI和压电薄膜的声表面波高温压力传感器芯片及其制备方法. |
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