JGP-560B磁控溅射仪基片台的改进 Improvements of Substrate Holder of the JGP-560B Magnetron Sputtering System | |
张兴元[1]; 何国庆[1]; 刘园园[1]; 黄佳木[1] | |
2013 | |
卷号 | 32页码:72-74 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3045379 |
专题 | 重庆大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张兴元[1],何国庆[1],刘园园[1],等. JGP-560B磁控溅射仪基片台的改进 Improvements of Substrate Holder of the JGP-560B Magnetron Sputtering System[J],2013,32:72-74. |
APA | 张兴元[1],何国庆[1],刘园园[1],&黄佳木[1].(2013).JGP-560B磁控溅射仪基片台的改进 Improvements of Substrate Holder of the JGP-560B Magnetron Sputtering System.,32,72-74. |
MLA | 张兴元[1],et al."JGP-560B磁控溅射仪基片台的改进 Improvements of Substrate Holder of the JGP-560B Magnetron Sputtering System".32(2013):72-74. |
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