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	偏压对非平衡磁控溅射ZrNbAlN薄膜的成分、力学性能及腐蚀特性的影响(英文)
	石永敬[1,2]; 潘复生[1]; 鲍明东[3]; 潘虎成[1]; Muhammad RASHAD[1]
	2014
页码	2856-2863
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3044246
专题	重庆大学
推荐引用方式 GB/T 7714	石永敬[1,2],潘复生[1],鲍明东[3],等. 偏压对非平衡磁控溅射ZrNbAlN薄膜的成分、力学性能及腐蚀特性的影响(英文)[J],2014:2856-2863.
APA	石永敬[1,2],潘复生[1],鲍明东[3],潘虎成[1],&Muhammad RASHAD[1].(2014).偏压对非平衡磁控溅射ZrNbAlN薄膜的成分、力学性能及腐蚀特性的影响(英文).,2856-2863.
MLA	石永敬[1,2],et al."偏压对非平衡磁控溅射ZrNbAlN薄膜的成分、力学性能及腐蚀特性的影响(英文)".(2014):2856-2863.

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