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	微系统研究的思考和单芯片RF-MEMS研究进展 Research of MEMS and Development of One-chip RF-MEMS
	钟先信[1]; 余文革[1]; 李晓毅[1]; 巫正中[1]; 刘积学[1]; 陈帅[1]; 邵小良[1]
	2004
卷号	6页码:21-25
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3021827
专题	重庆大学
推荐引用方式 GB/T 7714	钟先信[1],余文革[1],李晓毅[1],等. 微系统研究的思考和单芯片RF-MEMS研究进展 Research of MEMS and Development of One-chip RF-MEMS[J],2004,6:21-25.
APA	钟先信[1].,余文革[1].,李晓毅[1].,巫正中[1].,刘积学[1].,...&邵小良[1].(2004).微系统研究的思考和单芯片RF-MEMS研究进展 Research of MEMS and Development of One-chip RF-MEMS.,6,21-25.
MLA	钟先信[1],et al."微系统研究的思考和单芯片RF-MEMS研究进展 Research of MEMS and Development of One-chip RF-MEMS".6(2004):21-25.

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