A MEMS-Based Flow Sensor with Membrane Cantilever Beam Array Structure | |
Tian, Bian; Li, Huafeng; Yang, Ning; Liu, Hanyue; Zhao, Yulong | |
2017 | |
关键词 | flow sensor MEMS membrane cantilever beam array structure |
页码 | 185-189 |
会议录 | 2017 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS)
![]() |
URL标识 | 查看原文 |
ISSN号 | 9781509030590 |
内容类型 | 会议论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2945085 |
专题 | 西安交通大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Tian, Bian,Li, Huafeng,Yang, Ning,et al. A MEMS-Based Flow Sensor with Membrane Cantilever Beam Array Structure[C]. 见:. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论