题名 | AFM 针尖阳极氧化制造硅表面纳米结构的机理研究 |
作者 | BARAYAVUGA THEOGENE |
答辩日期 | 2017 |
导师 | 崔健磊 |
关键词 | 阳极氧化 电场增强 AFM 针尖 原子力显微镜 硅表面 |
学位名称 | 工学硕士 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 学位论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2942842 |
专题 | 西安交通大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | BARAYAVUGA THEOGENE. AFM 针尖阳极氧化制造硅表面纳米结构的机理研究[D]. 2017. |
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