纳米二氧化钒薄膜的制备及红外光学性能 | |
梁继然1; * 胡明1; 王晓东2; 李贵柯3; 季安2; 杨富华2; 刘剑3; 吴南健3; 陈弘达4 | |
刊名 | 物理化学学报
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2009 | |
卷号 | 第8期页码:P1523-1529 |
关键词 | 双离子束溅射/纳米二氧化钒薄膜/透射率 |
ISSN号 | 1000-6818 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2934058 |
专题 | 天津大学 |
作者单位 | 1.天津大学电子信息工程学院, 天津, 300072/2.中国科学院半导体研究所,半导体集成技术工程研究中心, 北京, 100083/3.中国科学院半导体研究所, 半导体超晶格国家重点实验室, 北京, 100083/4.中国科学院半导体研 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁继然1,* 胡明1,王晓东2,等. 纳米二氧化钒薄膜的制备及红外光学性能[J]. 物理化学学报,2009,第8期:P1523-1529. |
APA | 梁继然1.,* 胡明1.,王晓东2.,李贵柯3.,季安2.,...&陈弘达4.(2009).纳米二氧化钒薄膜的制备及红外光学性能.物理化学学报,第8期,P1523-1529. |
MLA | 梁继然1,et al."纳米二氧化钒薄膜的制备及红外光学性能".物理化学学报 第8期(2009):P1523-1529. |
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