| 利用微运动分析仪研究MEMS器件的运动特性 | |
| Zhu Haobo1; Mao Luhong1; Yu Changliang1; Chen Hongda2; Tang Jun2 | |
| 刊名 | 光电子·激光
 |
| 2006 | |
| 卷号 | 第17卷页码:P386-391 |
| 关键词 | CMOS/optoelectronics/parallel receiver/high speed |
| ISSN号 | 1005-0086 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2933961 |
| 专题 | 天津大学 |
| 作者单位 | 1.School of Electronic Information Engineering, Tianjin University, Tianjin, 300072/2.Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100083 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhu Haobo1,Mao Luhong1,Yu Changliang1,等. 利用微运动分析仪研究MEMS器件的运动特性[J]. 光电子·激光,2006,第17卷:P386-391. |
| APA | Zhu Haobo1,Mao Luhong1,Yu Changliang1,Chen Hongda2,&Tang Jun2.(2006).利用微运动分析仪研究MEMS器件的运动特性.光电子·激光,第17卷,P386-391. |
| MLA | Zhu Haobo1,et al."利用微运动分析仪研究MEMS器件的运动特性".光电子·激光 第17卷(2006):P386-391. |
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