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	一种支撑梁式MEMS流体热导率和热扩散系数传感器及其制备和测试方法
	赵立波; 黄祥祥; 夏勇; 徐廷中; 郭鑫; 罗运运
	2017-08-11
URL标识	查看原文
申请日期	2017-05-11
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2925730
专题	西安交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	赵立波,黄祥祥,夏勇,等. 一种支撑梁式MEMS流体热导率和热扩散系数传感器及其制备和测试方法. 2017-08-11.

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