The Micro Hydrogen Sensor Chip with Low Power Consumption | |
Wang, Hairong; Wang, Mengya; Chen, Xiaowei; Han, Baoqing | |
2017 | |
关键词 | Low power consumption Mass production MEMS Integrated H2 sensor |
页码 | 264-268 |
会议录 | 2017 IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MANIPULATION, MANUFACTURING AND MEASUREMENT ON THE NANOSCALE (3M-NANO)
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URL标识 | 查看原文 |
ISSN号 | 2373-5422 |
内容类型 | 会议论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2923835 |
专题 | 西安交通大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang, Hairong,Wang, Mengya,Chen, Xiaowei,et al. The Micro Hydrogen Sensor Chip with Low Power Consumption[C]. 见:. |
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