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	The Micro Hydrogen Sensor Chip with Low Power Consumption
	Wang, Hairong; Wang, Mengya; Chen, Xiaowei; Han, Baoqing
	2017
关键词	Low power consumption Mass production MEMS Integrated H2 sensor
页码	264-268
会议录	2017 IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MANIPULATION, MANUFACTURING AND MEASUREMENT ON THE NANOSCALE (3M-NANO)
URL标识	查看原文
ISSN号	2373-5422
内容类型	会议论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2923835
专题	西安交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	Wang, Hairong,Wang, Mengya,Chen, Xiaowei,et al. The Micro Hydrogen Sensor Chip with Low Power Consumption[C]. 见:.

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