| 微机电火工品薄膜结构换能元 | |
| 任炜; 赵玉龙; 褚恩义; 张彬; 李慧 | |
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 2018 | |
| 页码 | 2319-2325 |
| 关键词 | MEMS 薄膜厚度 薄膜结构 换能元 |
| ISSN号 | 1004-924X |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2921045 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 任炜,赵玉龙,褚恩义,等. 微机电火工品薄膜结构换能元[J]. 光学精密工程,2018:2319-2325. |
| APA | 任炜,赵玉龙,褚恩义,张彬,&李慧.(2018).微机电火工品薄膜结构换能元.光学精密工程,2319-2325. |
| MLA | 任炜,et al."微机电火工品薄膜结构换能元".光学精密工程 (2018):2319-2325. |
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