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题名	三电极电离式颗粒物传感器设计与性能研究
作者	童佳明
答辩日期	2018
导师	张勇
关键词	硅微米柱 电离式 颗粒物 敏感机理 结构优化
学位名称	硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2909824
专题	西安交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	童佳明. 三电极电离式颗粒物传感器设计与性能研究[D]. 2018.

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