| 题名 | 碳基涂层装置中离子源电源和聚焦偏转器的研制 及对ta-C薄膜特性影响的研究 |
| 作者 | 许梦芸 |
| 答辩日期 | 2018 |
| 导师 | 康永锋 |
| 关键词 | 四面体非晶碳薄膜 冷阴极离子源电源 聚焦偏转扫描系统 表面附着率 光学均匀性 |
| 学位名称 | 硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2908564 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许梦芸. 碳基涂层装置中离子源电源和聚焦偏转器的研制 及对ta-C薄膜特性影响的研究[D]. 2018. |
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