| Preparation and Conductive Properties of Ag Thin Film by DC Magnetron Sputtering Method | |
| Lin, Jianguang; Weng, Weixiang; Huang, Weihui; Zhou, Haifang | |
| 2012 | |
| 关键词 | DC magnetron sputtering Ag thin film resistivity |
| 卷号 | 217-219 |
| 页码 | 1068-1072 |
| 会议录 | ADVANCED MATERIALS AND PROCESS TECHNOLOGY, PTS 1-3
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| URL标识 | 查看原文 |
| ISSN号 | 1660-9336 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2903408 |
| 专题 | 福州大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Lin, Jianguang,Weng, Weixiang,Huang, Weihui,et al. Preparation and Conductive Properties of Ag Thin Film by DC Magnetron Sputtering Method[C]. 见:. |
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