微梁传感器弹性模量的测试

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	微梁传感器弹性模量的测试
	张天林; 郭哲颖; 张青川; 张泰华; 何世平
刊名	中国科学技术大学学报
	2006
卷号	36 期号:5 页码:567-572
关键词	微悬臂梁式传感器红外探测器弹性模量谱面滤波多普勒测振仪纳米硬度计
ISSN号	0253-2778
其他题名	Measuring the mechanical properties of micro-cantilever sensors
中文摘要	利用一种静态和两种动态的检测技术,对红外辐射探测微悬臂梁式传感器材料的弹性模量进行了测试研究.在静态检测实验中,利用纳米硬度计直接测出传感器材料的弹性模量;在动态实验中,分别利用谱平面光学滤波法和多普勒测振仪得到微悬臂梁传感器结构的固有频率,再结合数值模拟计算求出传感器的等效弹性模量.通过几种检测结果的分析和比较,获得了更加精确的微梁传感器单元的弹性模量值,为微梁的优化设计和评估提供了可靠的参数.
学科主题	力学
收录类别	CSCD
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:2541189
公开日期	2007-06-15 ; 2007-12-05 ; 2009-06-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/15594]
专题	力学研究所_力学所知识产出(1956-2008)
推荐引用方式 GB/T 7714	张天林,郭哲颖,张青川,等. 微梁传感器弹性模量的测试[J]. 中国科学技术大学学报,2006,36(5):567-572.
APA	张天林,郭哲颖,张青川,张泰华,&何世平.(2006).微梁传感器弹性模量的测试.中国科学技术大学学报,36(5),567-572.
MLA	张天林,et al."微梁传感器弹性模量的测试".中国科学技术大学学报 36.5(2006):567-572.