三维半导体器件及其制造方法 | |
叶甜春![]() ![]() | |
2018-03-30 | |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
专利号 | CN201510713805.5 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 一种三维半导体器件,包括:外围电路,分布在衬底上;多个存储单元,在外围电路之上,每一个包括:共源区,在存储单元与外围电路之间;沟道层,沿垂直于衬底表面的方向分布;至少一个衬底接触层,从沟道层中部平行于衬底表面水平延伸,每个包括至少一个衬底接触区;多个绝缘层,位于沟道层的侧壁上;多个控制栅极,夹设在相邻的绝缘层之间;栅极介质层,位于沟道层与控制栅极之间;漏区,在沟道层顶部;衬底接触引出线,电连接衬底接触区;以及位线布线,电连接每个存储单元的漏区与外围电路。在存储串的中段形成衬底接触,提高存储器擦写的性能和可靠性,提高存储阵列的存储密度,减少整个存储芯片的面积,降低成本。 |
公开日期 | 2016-01-20 |
申请日期 | 2015-10-28 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/18724] ![]() |
专题 | 微电子研究所_存储器研发中心 |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 叶甜春,霍宗亮. 三维半导体器件及其制造方法. CN201510713805.5. 2018-03-30. |
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