制备具有通道的低温共烧陶瓷基板的方法 | |
尹军舰; 杜泽保; 张海英; 朱旻 | |
2010-12-08 | |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
专利号 | 201010591318.3 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明公开了一种制备具有通道的低温共烧陶瓷基板的方法。该方法包括:将基板进行切割;将切割件进行烧结;烧结后的切割件填充至原有基板并注蜡进行固定;第二层到第n层基板均按上述工艺得到;将n层基板层压烧结;拆除各个切割件即可获得一种具有通道的低温共烧陶瓷基板。本发明中,由于存在原切割件的支撑作用,在成品的基板中通道侧壁的形状在烧制前后可以基本保持不变。 |
公开日期 | 2015-05-20 |
状态 | 公开 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/13026] ![]() |
专题 | 微电子研究所_健康电子研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 尹军舰,杜泽保,张海英,等. 制备具有通道的低温共烧陶瓷基板的方法. 201010591318.3. 2010-12-08. |
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