金属栅电极等效功函数调节方法

	金属栅电极等效功函数调节方法
	杨红; 罗维春; 闫江; 王文武
	2018-04-13
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN201310331607.3
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	公开了一种对金属栅电极的等效功函数进行调节的方法。该方法包括：形成至少包括金属功函数层的金属栅电极配置；以及对金属栅电极配置中的至少一层进行等离子体处理。这样，可以对金属栅电极的等效功函数进行相对灵活地调节。
公开日期	2015-02-11
申请日期	2013-08-01
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://159.226.55.107/handle/172511/18781]
专题	微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	杨红,罗维春,闫江,等. 金属栅电极等效功函数调节方法. CN201310331607.3. 2018-04-13.