一种硅基MEMS微波SIR交指带通滤波器

	一种硅基MEMS微波SIR交指带通滤波器
	欧文; 李志刚; 翟琼华; 欧毅; 袁烽
刊名	微电子学
	2017-02-01
文献子类	期刊论文
英文摘要	基于7阶SIR交指结构滤波器,提出了一种基于硅MEMS技术的微波S波段交指带通滤波器。不仅保留了交指结构的高通带选择性,而且可以通过调整SIR的阻抗比和电长度比来实现宽阻带。采用MEMS工艺,在双层高电阻率的硅片上完成了滤波器的制作和自封装,它具有体积小、损耗低的优点。仿真结果表明,该滤波器在中心频率2.35GHz处的相对带宽为30%,带内插损小于1.5dB,回波损耗大于15dB,在频率f0±0.8GHz处的阻带抑制比大于50dB。该交指带通滤波器的体积仅为（11×7×0.8）mm3。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://159.226.55.106/handle/172511/17969]
专题	微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	欧文,李志刚,翟琼华,等. 一种硅基MEMS微波SIR交指带通滤波器[J]. 微电子学,2017.
APA	欧文,李志刚,翟琼华,欧毅,&袁烽.(2017).一种硅基MEMS微波SIR交指带通滤波器.微电子学.
MLA	欧文,et al."一种硅基MEMS微波SIR交指带通滤波器".微电子学 (2017).