题名3D硅像素探测器的研究与制造
作者明希
答辩日期2014-05
文献子类硕士
授予单位中国科学院大学
导师殷华湘叶甜春
学位专业电子通信工程
内容类型学位论文
源URL[http://159.226.55.106/handle/172511/17106]  
专题微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714
明希. 3D硅像素探测器的研究与制造[D]. 中国科学院大学. 2014.
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