题名 | 3D硅像素探测器的研究与制造 |
作者 | 明希 |
答辩日期 | 2014-05 |
文献子类 | 硕士 |
授予单位 | 中国科学院大学 |
导师 | 殷华湘叶甜春 |
学位专业 | 电子通信工程 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/17106] |
专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 明希. 3D硅像素探测器的研究与制造[D]. 中国科学院大学. 2014. |
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