单型掺杂柱电极的3D硅像素探测器的器件与制造工艺研究

	单型掺杂柱电极的3D硅像素探测器的器件与制造工艺研究
	明希; 殷华湘; 孟令款; 李俊杰; 贾云丛; 李贞杰; 袁烽; 刘鹏; 陈大鹏
刊名	半导体光电
	2015-02-01
语种	中文
公开日期	2016-05-31
内容类型	期刊论文
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/15045]
专题	微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	明希,殷华湘,孟令款,等. 单型掺杂柱电极的3D硅像素探测器的器件与制造工艺研究[J]. 半导体光电,2015.
APA	明希.,殷华湘.,孟令款.,李俊杰.,贾云丛.,...&陈大鹏.(2015).单型掺杂柱电极的3D硅像素探测器的器件与制造工艺研究.半导体光电.
MLA	明希,et al."单型掺杂柱电极的3D硅像素探测器的器件与制造工艺研究".半导体光电 (2015).