一种制作多层有机液晶聚合物基板结构的方法 | |
张霞; 曹立强 | |
2011-03-08 | |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明 |
英文摘要 | 本发明提出了一种可同时埋入有源和无源器件的多层液晶聚合物(LCP, Liquid Crystal Polymer)基板结构以及制作方法,包括:利用两种不同熔点的液晶聚合物薄膜进行多层液晶聚合物基板的制备,其中高熔点的液晶聚合物薄膜用于制作核心基板,低熔点的液晶聚合物薄膜用于制作介质层,通过一个“三明治”的结构,即两边为连接有有源和无源器件的液晶聚合物核心基板,中间为带孔以及不带孔的液晶聚合物介质层,实现将有源和无源器件同时层压到多层液晶聚合物基板中的结构。有源器件的被动面粘附有一层高导热的界面散热材料,这样可以保证有源器件的有效散热。该基板可应用于微波/毫米波系统级模块的制作,其特点是可以实现系统的高密度化、微小型化、高性能化、高频化以及低值低耗。 |
公开日期 | 2012-11-20 |
状态 | 公开 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/9629] |
专题 | 微电子研究所_系统封装与集成研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张霞,曹立强. 一种制作多层有机液晶聚合物基板结构的方法. 2011-03-08. |
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