| 题名 | 纳米级磁隧道结（MTJ)器件关键制造设备及工艺的研究 |
| 作者 | 胡冬冬
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| 答辩日期 | 2018-05-21 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 中国科学院微电子研究所 |
| 导师 | 夏洋 |
| 学位专业 | 电子与信息 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/18435]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡冬冬. 纳米级磁隧道结（MTJ)器件关键制造设备及工艺的研究[D]. 中国科学院微电子研究所. 中国科学院大学. 2018. |
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