| 题名 | 高精度干涉式双光栅位移测量技术的研究 |
| 作者 | 高金磊 |
| 答辩日期 | 2016-05 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 导师 | 宗明成 |
| 学位专业 | 集成电路工程 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/16919]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高金磊. 高精度干涉式双光栅位移测量技术的研究[D]. 中国科学院大学. 2016. |
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