| 快速精密射频自动匹配装置 | |
| 秦威; 李勇滔; 夏洋; 李英杰; 赵章琰 | |
| 2011-09-28 | |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 公开了一种快速精密射频自动匹配装置包括复阻抗检测装置、控制模块及包含真空电容器、空气可变电容器、电感的电容电感网络；所述真空电容器与所述空气可变电容器并联；所述控制模块根据所述复阻抗检测装置检测的结果，控制所述电容电感网络中真空电容器、空气可变电容器转动，以实现自动阻抗匹配。该快速精密射频自动匹配装置能够对工作状态变化导致的负载阻抗变化做出快速响应，并且能够精细的寻找最优匹配点的快速精密射频自动匹配装置。 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/16549]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 秦威,李勇滔,夏洋,等. 快速精密射频自动匹配装置. 2011-09-28. |
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