一种调焦调平传感器测量装置 | |
李世光; 王丹; 魏志国; 武志鹏; 孙裕文; 宗明成 | |
2014-07-31 | |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明 |
英文摘要 | 本发明公开了一种调焦调平传感器测量装置,涉及测量技术领域,用于测量带有工艺的硅片的高度形貌,该装置包括可调谐光源、测试光栅、第一成像系统、第二成像系统、参考光栅、探测器、工件台和计算机。该装置能够对于待测硅片上涂覆某种光刻胶或者具有某种结构时,自动计算测量高度对所述光刻胶或结构不敏感的光源光谱,相应调整光源的频率和带宽,以及探测器的响应范围,使调焦调平传感器的高度测量工艺相关性最小。在光刻曝光时,工件台将根据硅片形貌实时调节它的高度和倾斜,保证曝光区域保持在光刻机的对焦范围内,达到调焦调平的目的。 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/16489] |
专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李世光,王丹,魏志国,等. 一种调焦调平传感器测量装置. 2014-07-31. |
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