| 等离子体放电装置 | |
| 贾少霞; 张宸; 杨景华; 王守国 | |
| 2012-12-24 | |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 英文摘要 | 本实用新型公开一种等离子体放电装置，包括两个射频电极、介质阻挡层、匀气板、气源、射频电源和金属外壳；所述射频电源与所述射频电极连接；放电装置在工作时，所述金属外壳接地；所述射频电极被介质阻挡层包覆；两个射频电极之间为等离子体喷口；所述匀气板位于所述介质阻挡层上方；所述气源提供的工作气体通过由所述匀气板构成的收缩口，到达所述等离子体喷口，并在常压下，电源接通后，在所述喷口处形成大面积的辉光等离子体，等离子体在气流的携带下向外喷出。本实用新型避免了散射性放电，提高了放电效率，提高了气流速率，增大等离子体喷出喷口的长度，降低了装置对被处理材料的形状等要求。 |
| 状态 | 公开 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/15947]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾少霞,张宸,杨景华,等. 等离子体放电装置. 2012-12-24. |
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