| 一种可用于半导体薄膜光学测量系统的W型光纤束 | |
| 李国光; 刘涛; 吴文镜; 赵江艳 | |
| 2012-08-09 | |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明公开一种W型光纤束，包括：第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤；所述第I子光纤与所述第II子光纤共用输入端口；所述第III子光纤和所述第IV子光纤共用输出端口；所述第II子光纤的输出端口和所述第III子光纤的输入端口捆绑连接，形成输入输出端口；所述第I子光纤和第Ⅳ子光纤的另一端分别连接一光纤端口；所述第I子光纤，第II子光纤，第III子光纤和第IV子光纤构成W型光纤束。还公开一种使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统。本发明能减少系统光源和光谱计的数量，提高测量精度的同时达到降低系统成本的效果。 |
| 状态 | 公开 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/15539]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李国光,刘涛,吴文镜,等. 一种可用于半导体薄膜光学测量系统的W型光纤束. 2012-08-09. |
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