一种PECVD系统

	一种PECVD系统
	Xia Y(夏洋); Liu J(刘键); Liu J(刘杰); Qu FR(屈芙蓉); Li CB(李超波); Leng XL(冷兴龙)
	2014-06-18
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN203653697U
国家	中国
文献子类	实用新型
英文摘要	本实用新型涉及一种PECVD系统，包括沉积腔室、前驱体输入气路、反应气体输入气路，所述前驱体输入气路和反应气体输入气路都与沉积腔室连接，所述前驱体输入气路和所述反应气体输入气路上都具有控制气体输入的普通阀，所述前驱体输入气路和/或所述反应气体输入气路的普通阀上通过管道并连脉冲阀。实现了PECVD方法和脉冲流量PECVD方法的结合，也实现了制备速度可控、快速沉积较高质量的薄膜。
申请日期	2013-12-31
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/13102]
专题	微电子研究所_微电子仪器设备研发中心
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	Xia Y(夏洋),Liu J(刘键),Liu J(刘杰),等. 一种PECVD系统. CN203653697U. 2014-06-18.