| 一种微波激发的超临界干燥装置及方法 | |
| 景玉鹏; 于明岩; 徐昕伟; 赵士瑞; 郭晓龙 | |
| 2012-11-06 | |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 专利号 | ZL201210438693.3 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种微波激发的超临界干燥装置及方法，该超临界干燥装置包括：腔室(3)；设置于腔室(3)内盛载待测硅片(5)的石英装置(4)；设置于腔室(3)外且与石英装置(4)连通的真空抽水装置(1)；设置于腔室(3)内侧壁上的金属转盘(9)；设置于腔室(3)内与金属转盘(9)连接的电机(10)；设置于腔室(3)内的微波发生装置(11)；以及设置于腔室(3)内的黄色光源(12)。利用本发明，解决了微细结构的纳米图形在干燥过程中发生的断裂、倒伏或粘连等问题。 |
| 公开日期 | 2015-05-19 |
| 状态 | 公开 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/13008]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 景玉鹏,于明岩,徐昕伟,等. 一种微波激发的超临界干燥装置及方法. ZL201210438693.3. 2012-11-06. |
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