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	包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统
	马铁中; 李国光; 刘涛; 赵江艳; 郭青杨; Edgar Genio; 夏洋
	2011-12-19
著作权人	中国科学院微电子研究所
文献子类	发明
英文摘要	一种易于调节聚焦的，无色差的，保持偏振特性的，光通效率高且易于实现的利用参考光束校准的垂直入射宽带偏振光谱仪。该光谱仪中探测光束和参考光束的最大光通量比率可以达到50%，而且，本发明的垂直入射宽带偏振光谱仪仅包含一个光谱计，因此，本发明提出的光谱仪测量精度更高，同时复杂程度和设备成本比现有技术低。此外，该垂直入射光带光谱仪至少包含一个偏振器，从而能够精确地测量各向异性或非均匀样品，如包含周期性结构的薄膜的三维形貌和材料光学常数。
公开日期	2012-11-20
状态	公开
内容类型	专利
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/10179]
专题	微电子研究所_微电子仪器设备研发中心
推荐引用方式 GB/T 7714	马铁中,李国光,刘涛,等. 包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统. 2011-12-19.

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